国家标准计划《半导体单晶晶向测定方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 峨嵋半导体材料厂 。

主要起草人 杨旭 、何兰英 。