国家标准计划《硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。 拟实施日期:发布后3个月正式实施。
主要起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 。
主要起草人 马农农 、何友琴 、李素青 、陈潇 、刘立娜 、何烜坤 。
20202892-T-469 已发布