行业标准《碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法》,主管部门为工业和信息化部。
备案号:93568-2024。
备案公告: 2024年第3号 。
本文件适用于碳化硅单晶中杂质元素含量的测定。