国家标准计划《电子特气 磷化氢》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准委。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 西南化工研究设计院有限公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、上海正帆科技股份有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、福建久策气体股份有限公司 、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 、苏州金宏气体股份有限公司 、江西华特电子化学品有限公司 、湖北和远气体股份有限公司 、全椒南大光电材料有限公司 、大连保税区科利德化工科技开发有限公司 、浙化省标准化研究院 、昊华气体有限公司西南分公司 、宿州伊维特新材料有限公司 、上海申南特种气体有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、上海凡伟仪器设备有限公司 、联雄投资(上海)有限公司 、上海飞择科技有限公司 、上海市计量测试技术研究院 、沈阳中复科金压力容器有限公司 、浙江东开半导体科技有限公司 、和立气体（上海）有限公司 、昆明广瑞达特种气体有限责任公司 、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司 、西南化工研究设计院有限公司双流分公司 。

主要起草人 孙福楠 、曾庆腾 、李东升 、傅铸红 、王百林 、曹素英 、何经余 、沙婷 、倪珊珊 、万娟秀 、朱明 、王新喜 、孙猛 、戴玺 、徐孝天 、方强 、孙建 、施旖旎 、赵趫 、郑新权 、陈洁 、吴靓 、方华 、李扬 、杨康 、唐中伟 、黄辉 、施卫丰 、姜阳 、李春华 、宫兵 、王大为 、易达文 、李阳 、梁永强 、梁成科 、高静 、赖晓峰 、谭依玲 、周鹏云 、王科 、熊壮 。