国家标准计划《碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。 拟实施日期:发布后6个月正式实施。
主要起草单位 安徽长飞先进半导体有限公司 、广东天域半导体股份有限公司 、安徽芯乐半导体有限公司 、南京国盛电子有限公司 、浙江芯科半导体有限公司 、河北普兴电子科技股份有限公司 、中国科学院半导体研究所 。
主要起草人 钮应喜 、袁松 、张会娟 、刘敏 、仇光寅 、李京波 、彭铁坤 、袁肇耿 、杨龙 、闫果果 。
20203728-T-469 已发布
77 冶金 |
77.040 金属材料试验 |