国家标准计划《Ⅲ族氮化物半导体晶圆表面缺陷的测试 激光扫描法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 江苏第三代半导体研究院 、苏州纳维科技有限公司 、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 、高视科技（苏州）股份有限公司 、山东华光光电子股份有限公司 、盛美半导体设备（上海）股份有限公司 、西安电子科技大学 、苏州晶湛半导体有限公司 、北京大学东莞光电研究院 、南京盛鑫半导体材料有限公司 、上海优睿谱半导体设备有限公司 、广东德智矩阵科技有限公司 、深圳活力激光技术有限公司 、深圳市德斯戈智能科技有限公司 、北京聚睿众邦科技有限公司 、东莞市普密斯精密仪器有限公司 、格恩半导体（安徽）股份有限公司 。

主要起草人 徐科 、李朝军 、李梦亚 、王鲁华 、薛军帅 、程凯 、曹蓉 、刘强 、刘宗亮 、黄锦标 、尤宇财 、许万里 、杜亚玲 、周峰 、王斌 、蔡万绍 、林锵 、吴德华 、郑兆河 、王铮 、何生茂 、周峰 、张江勇 。