国家标准计划《电子工业用气体 氦》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC1（全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 西南油气田分公司成都天然气化工总厂 、北京氦普北分气体工业有限公司 、西南化工研究设计院 。

主要起草人 刘泽军 、付永成 、赵俊秀 、周鹏云 。