国家标准计划《电子工业用气体 硒化氢》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 中国计量科学研究院 、西南化工研究设计院 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、河北保定市北方特种气体有限公司 。
主要起草人 周泽义 、方华 、庄鸿涛 、李建浩等 。
20081121-T-469 已发布