国家标准《硅单晶电阻率测定方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 信息产业部专用材料质量监督检验中心 、中国电子科技集团公司第四十六研究所 。

主要起草人 李静 、何秀坤 、张继荣 、段曙光 。

本标准修改采用其他国际标准：SEMI MF 84-1105、SEMI MF 397-1106。

采标中文名称:硅片电阻率测定四探针法、硅棒电阻率测定两探针法。