国家标准《掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 有研半导体材料股份有限公司 、四川新光硅业科技有限责任公司 、中国计量科学研究院 、浙江省硅材料质量检验中心 、杭州海纳半导体有限公司 、浙江金瑞泓科技股份有限公司 、西安隆基硅材料股份有限公司 。

主要起草人 孙燕 、梁洪 、高英 、楼春兰 、张静 、王飞尧等 。