国家标准《半导体材料术语》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国有色金属工业标准计量质量研究所 、有研半导体材料股份有限公司 、杭州海纳半导体有限公司 、国瑞电子材料有限责任公司等 。

主要起草人 孙燕 、黄笑容 、向磊 、翟富义 、卢立延 、郑琪等 。