行业标准《半导体材料掺杂用扩散膜》，主管部门为工业和信息化部。
备案号：104153-2026。
本文件规定了半导体材料掺杂用扩散膜的术语和定义、分类和牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于分立器件用半导体材料掺杂用扩散膜的生产和检测。
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