国家标准计划《Ⅲ族氮化物半导体材料极性的测定 透射电子显微镜法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 江苏第三代半导体研究院有限公司 、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 、苏州纳维科技有限公司 、西安电子科技大学 、南京大学 、北京大学东莞光电研究院 。