国家标准计划《Ⅲ族氮化物半导体材料极性的测定 透射电子显微镜法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 江苏第三代半导体研究院 、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 、苏州纳维科技有限公司 、松山湖材料实验室 、盛美半导体设备（上海）股份有限公司 、北京大学 、南京大学 、西安电子科技大学 、北京大学东莞光电研究院 、南京盛鑫半导体材料有限公司 、北京聚睿众邦科技有限公司 、格恩半导体（安徽）股份有限公司 。

主要起草人 徐科 、苏旭军 、刘宗亮 、蔡德敏 、胡伟 、曹蓉 、刘斌 、陶涛 、王涛 、薛军帅 、尤宇财 、刘强 、仇光寅 、赵高峰 、吕伟 、杨丽霞 、邓和清 。