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国家标准《半导体材料术语》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位中国有色金属总公司标准所。

目录

标准状态

当前标准

GB/T 14264-1993 废止

半导体材料术语

被以下标准替代

GB/T 14264-2009 （全部代替）

半导体材料术语

基础信息

标准号: GB/T 14264-1993
发布日期: 1993-03-20
实施日期: 1993-12-01
废止日期: 2010-06-01

标准类别: 基础
中国标准分类号: H80
归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门: 国家标准委

采标情况

本标准非等效采用ITU国际标准：ASTM F1241:1989。

采标中文名称:。

起草单位

中国有色金属总公司标准所

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