注册

国家标准《半导体材料术语》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 中国有色金属总公司标准所

目录

标准状态

当前标准

GB/T 14264-1993 废止

半导体材料术语
被以下标准替代

GB/T 14264-2009 (全部代替)

半导体材料术语

基础信息

标准号
GB/T 14264-1993
发布日期
1993-03-20
实施日期
1993-12-01
废止日期
2010-06-01
标准类别
基础
中国标准分类号
H80
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

采标情况

本标准非等效采用ITU国际标准:ASTM F1241:1989。

采标中文名称:。

起草单位

相近标准(计划)