国家标准《表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度》 由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口,TC38SC2(全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会)执行 ,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 清华大学电子工程系 。
主要起草人 查良镇 、陈旭 、黄雁华 、王光普 、黄天斌 、刘林等 。
GB/T 20176-2006 现行
20232769-T-469 正在起草
71 化工技术 |
71.040 分析化学 |
71.040.40 化学分析 |
本标准等同采用ISO国际标准:ISO 14237:2000。
采标中文名称:表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度。