国家标准计划《表面化学分析 二次离子质谱 基于多δ层参考物质的硅深度校准方法》由 TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 清华大学 、天津工业大学 、中国矿业大学（北京） 、北京大学 、中国人民公安大学 、北京理工大学 、河北工程大学 。

主要起草人 李展平 、赵丽霞 、郭冲 、章宇娟 、郎玉博 、周凌 、刘可心 、吴美璇 、李芹 、马静怡 、张硕 、胡小康 、侯宇轩 、王阳 、刘婕 、侯俊先 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 23812:2009。

采标中文名称:表面化学分析 二次离子质谱 基于多δ层参考物质的硅深度校准方法。