国家标准计划《表面化学分析 二次离子质谱 基于多δ层参考物质的硅深度校准方法》由 TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 清华大学 、天津工业大学 、中国矿业大学（北京） 、北京大学 、中国人民公安大学 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 23812:2009。

采标中文名称:表面化学分析 二次离子质谱 基于多δ层参考物质的硅深度校准方法。