注册

国家标准《电子工业用气体 六氟化硫》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 中核红华特种气体股份有限公司

目录

标准状态

当前标准

GB/T 18867-2002 废止

电子工业用气体 六氟化硫
被以下标准替代

GB/T 18867-2014 (全部代替)

电子工业用气体 六氟化硫

基础信息

标准号
GB/T 18867-2002
发布日期
2002-10-15
实施日期
2003-04-01
废止日期
2015-07-01
标准类别
产品
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
71 化工技术
71.100 化工产品
71.100.20 工业气体
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

采标情况

本标准非等效采用ITU国际标准:SEMI C3.24:1995。

采标中文名称:。

起草单位

相近标准(计划)