国家标准《电子工业用气体 六氟化硫》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 中核红华特种气体股份有限公司 。
GB/T 18867-2002 废止
GB/T 18867-2014 (全部代替)
本标准非等效采用ITU国际标准:SEMI C3.24:1995。
采标中文名称:。