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国家标准《电子工业用气体六氟化硫》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位中核红华特种气体股份有限公司。

目录

标准状态

当前标准

GB/T 18867-2002 废止

电子工业用气体六氟化硫

被以下标准替代

GB/T 18867-2014 （全部代替）

电子工业用气体六氟化硫

基础信息

标准号: GB/T 18867-2002
发布日期: 2002-10-15
实施日期: 2003-04-01
废止日期: 2015-07-01

标准类别

产品

中国标准分类号

G86

国际标准分类号

71.100.20

71 化工技术

71.100 化工产品

71.100.20 工业气体

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门

国家标准化管理委员会

采标情况

本标准非等效采用ITU国际标准：SEMI C3.24:1995。

采标中文名称:。

起草单位

中核红华特种气体股份有限公司

相近标准(计划)

20231011-T-469 电子气体六氟化硫

GB/T 18867-2014 电子工业用气体六氟化硫

20200510-T-604 压力式六氟化硫气体密度控制器

DL/T 1986-2019 六氟化硫混合气体绝缘设备气体检测技术规范

GB/T 16942-2009 电子工业用气体氢

GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨

GB/T 16945-2009 电子工业用气体氩

GB/T 14604-2009 电子工业用气体氧

GB/T 16943-2009 电子工业用气体氦

GB/T 15909-2017 电子工业用气体硅烷

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主办：国家市场监督管理总局国家标准技术审评中心
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