国家标准《掺氮吸气剂含氮量测试方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 电子部标准化所 。
GB/T 6625-1986 废止
GB/T 25494-2010 (全部代替)