国家标准《吸气剂气体吸放性能测试方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 南京华东赛斯真空材料有限公司 、工业和信息化部电子工业标准化研究所 、中国电子科技集团第十二研究所 。
主要起草人 薛函迎 、张巨先 、郭卫斌 、刘筠 。
GB/T 6626.3-1986 (全部代替)
GB/T 9506.4-1988 (全部代替)
GB/T 9506.5-1988 (全部代替)
GB/T 9506.7-1988 (全部代替)
GB/T 9506.8-1988 (全部代替)
GB/T 25497-2010 现行
31 电子学 |
31.030 电子技术专用材料 |