国家标准《吸气剂成分分析测试方法》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。
主要起草单位 南京华东赛斯真空材料有限公司 、工业和信息化部电子工业标准化研究所 、中国电子科技集团公司第十二研究所 。
主要起草人 薛函迎 、郭卫斌 、张巨先 、刘筠 。
GB/T 6625-1986 （全部代替）
GB/T 6626.2-1986 （全部代替）
GB/T 9506.3-1988 （全部代替）
GB/T 25494-2010 现行
| 31 电子学 |
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