国家标准《蒸散型钡吸气剂》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 南京华东赛斯真空材料有限公司 、工业和信息化部电子工业标准化研究所 、中国电子科技集团第十二研究所 。

主要起草人 薛函迎 、郭卫斌 、张巨先 、刘筠 。