国家标准 - 全国标准信息公共服务平台

国家标准《非掺杂半绝缘砷化镓单晶深能级EL2浓度红外吸收测试方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位电子工业部第四十六研究所。

目录

标准状态

当前标准

GB/T 17170-1997 废止

非掺杂半绝缘砷化镓单晶深能级EL2浓度红外吸收测试方法

被以下标准替代

GB/T 17170-2015 （全部代替）

半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度红外吸收测试方法

基础信息

标准号: GB/T 17170-1997
发布日期: 1997-12-22
实施日期: 1998-08-01
废止日期: 2016-07-01

标准类别

方法

中国标准分类号

H21

国际标准分类号

29.045

29 电气工程

29.045 半导体材料

归口单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门

国家标准化管理委员会

起草单位

电子工业部第四十六研究所

相近标准(计划)

GB/T 17170-2015 半绝缘砷化镓单晶深施主EL2浓度红外吸收测试方法

GB/T 19199-2015 半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法

SJ/T 11488-2015 半绝缘砷化镓电阻率、霍尔系数和迁移率测试方法

SJ/T 11496-2015 红外吸收法测量砷化镓中硼含量

GB/T 42271-2022 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法

GB/T 8760-2020 砷化镓单晶位错密度的测试方法

GB/T 13389-2014 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

SJ/T 10625-1995 锗单晶中间隙氧含量的红外吸收测量方法

DB13/T 1314-2010 太阳能级单晶硅方棒、单晶硅片

20240143-T-469 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测试红外反射法

版权所有侵权必究
主管：国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会
主办：国家市场监督管理总局国家标准技术审评中心
技术支持：北京中标赛宇科技有限公司
支持电话：010-82261036
备案号：京ICP备09001239号-6