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国家标准《硅外延层堆垛层错密度测定干涉相衬显微镜法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准委。

主要起草单位上海有色金属研究所。

目录

标准状态

当前标准

GB/T 14145-1993 废止

硅外延层堆垛层错密度测定干涉相衬显微镜法

基础信息

标准号: GB/T 14145-1993
发布日期: 1993-02-06
实施日期: 1993-10-01
废止日期: 2004-10-14
上次复审日期: 2004-10-14
上次复审结论: 废止

标准类别: 方法
中国标准分类号: H24
归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门: 国家标准委

起草单位

上海有色金属研究所

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