国家标准《吸气剂装载量测试方法》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 电子部741厂 。
GB/T 9506.9-1988 废止
GB/T 25496-2010 (全部代替)