国家标准《碳化硅单晶》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 北京天科合达半导体股份有限公司 、山东天岳先进科技股份有限公司 、南京国盛电子有限公司 、山西烁科晶体有限公司 、广东天域半导体股份有限公司 、宁夏创盛新材料科技有限公司 、杭州晶驰机电有限公司 。

主要起草人 佘宗静 、彭同华 、王波 、张红岩 、李国鹏 、侯晓蕊 、丁雄杰 、蔡振立 、邹宇 、娄艳芳 、胡建荣 、郭森 。