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国家标准计划《集成电路用高纯硅靶材》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委

主要起草单位 宁波江丰电子材料股份有限公司上海同创普润新材料有限公司有研亿金新材料有限公司长江存储科技有限责任公司有色金属技术经济研究院有限责任公司

目录

项目进度

当前标准计划

20250087-T-469 正在起草

集成电路用高纯硅靶材

基础信息

计划号
20250087-T-469
制修订
制定
项目周期
18个月
下达日期
2025-01-27
标准类别
产品
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准委

起草单位

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