国家标准计划《集成电路用高纯硅靶材》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 宁波江丰电子材料股份有限公司 、上海同创普润新材料有限公司 、有研亿金新材料有限公司 、长江存储科技有限责任公司 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 。