行业标准《集成电路器件用镍钒合金靶材》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 有研亿金新材料股份有限公司 、北京有色金属研究总院等 。
主要起草人 董亭义 、何金江等 。
备案号:42760-2014。
备案公告: 2014年第1号 。