行业标准《平面磁控溅射靶材 光学薄膜用硅靶》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 利达光电股份有限公司 。
主要起草人 李智超 、杨太礼等 。
备案号：28132-2010。
备案公告： 2010年第4号 。
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