行业标准《电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 宁波江丰电子材料股份有限公司 、有研亿金新材料有限公司 、北京天龙钨钼科技股份有限公司等 。

主要起草人 姚力军 、王学泽 、丁照崇等 。

备案号：50323-2015。

备案公告： 2015年第7号 。

本标准适用于电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材，以下简称高纯钨及钨合金靶。