行业标准《电子薄膜用高纯钴靶材》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 宁波江丰电子材料股份有限公司 、有研亿金新材料有限公司 。
主要起草人 王学泽 、李勇军 、郑文翔等 。
备案号:50396-2015。
备案公告: 2015年第7号 。
本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。