国家标准计划《纳米技术 碳纳米管探针扫描显微术 大深宽比微纳结构测量》由 TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，TC279SC2（全国纳米技术标准化技术委员会纳米检测技术分会）执行 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 西安交通大学 、中国计量科学研究院 、陕西省计量科学研究院 、杭州探真纳米科技有限公司 。