国家标准化指导性技术文件登记项目《纳米技术 开尔文探针力显微术 第二部分：半导体微区表面光电压测量》由 TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，TC279SC2（全国纳米技术标准化技术委员会纳米检测技术分会）执行 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 、国家纳米科学中心 、上海交通大学 、国标（北京）检验认证有限公司 。