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国家标准计划《纳米技术微纳结构原位加工分析系统性能测试方法》由 TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口，TC279SC2（全国纳米技术标准化技术委员会纳米检测技术分会）执行，主管部门为中国科学院。

主要起草单位中国计量科学研究院、中国科学院电工研究所、上海精测半导体技术有限公司、上海交通大学。

目录

项目进度

当前标准计划

20262047-T-491 正在起草

纳米技术微纳结构原位加工分析系统性能测试方法

基础信息

计划号: 20262047-T-491
制修订: 制定
项目周期: 15个月
下达日期: 2026-04-28

标准类别

方法

国际标准分类号

17.040;31.200

17 计量学和测量、物理现象

17.040 长度和角度测量

31 电子学

31.200 集成电路、微电子学

归口单位

全国纳米技术标准化技术委员会

执行单位

全国纳米技术标准化技术委员会纳米检测技术分会

主管部门

中国科学院

起草单位

中国计量科学研究院

上海精测半导体技术有限公司

中国科学院电工研究所

上海交通大学

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