国家标准《电子级正硅酸乙酯》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 金宏气体股份有限公司 、湖北新蓝天新材料股份有限公司 、武汉新硅科技潜江有限公司 、江苏南大光电材料股份有限公司 、南大光电半导体材料有限公司 、中国电子技术标准化研究院 、浙江中宁硅业股份有限公司 、内蒙古兴洋科技股份有限公司 、洛阳中硅高科技有限公司 、江阴润玛电子材料股份有限公司 、浙江衢州硅宝化工有限公司 、湖北江瀚新材料股份有限公司 、浙江开化合成材料有限公司 、广州赛西标准检测研究院有限公司 。

主要起草人 孙猛 、金向华 、赵俊莎 、肖俊平 、李楷东 、吴怡然 、曹可慰 、赵斌 、陶刚义 、孙明璐 、陈德义 、冯琼华 、向冲 、王成 、黄天次 、万烨 、张园园 、郭树虎 、戈士勇 、戈烨铭 、何珂 、李冲合 、甘俊 、陈道伟 、张明英 。