国家标准计划《硅片径向电阻率变化测量方法》由 TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国有色金属工业协会。

主要起草单位 麦斯克电子材料股份有限公司 、天津中环领先材料技术有限公司 、南京国盛电子有限公司 、中国电子科技集团公司第四十六研究所 、浙江海纳半导体有限公司 、浙江中晶科技股份有限公司 、浙江金瑞泓科技股份有限公司 、上海新昇半导体科技有限公司 、上海合晶硅材料有限公司 、乐山市产品质量监督检验所 、有研半导体硅材料股份公司 。