地方标准《电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范》,主管部门为廊坊市市场监督管理局。
主要起草单位 廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司 。
备案号:76208-2020。
备案公告: 2020年第12号 。
本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术