国家标准计划《多晶硅铸造用熔融石英坩埚》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 中材江苏硅材料有限公司;中国电子技术标准化研究所;国家硅材料深加工产品质量监督检验中心 。
20141874-T-469 暂缓