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国家标准计划《多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。 拟实施日期:发布后6个月正式实施。

主要起草单位 国家硅材料深加工产品质量监督检验中心东海县产品质量监督检验所江苏中腾石英材料科技有限公司中材高新江苏硅材料有限公司中国电子技术标准化研究院

主要起草人 薄雷明程尚栩栾振祥张存君王祥许振午李建德管琪冯亚彬

目录

项目进度

当前标准计划

20110063-T-469 已发布

多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料

基础信息

计划号
20110063-T-469
制修订
制定
项目周期
24个月
下达日期
2011-10-13
标准类别
产品
中国标准分类号
L90
国际标准分类号
31.030
31 电子学
31.030 电子技术专用材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准委

起草单位

起草人

薄雷明
程尚栩
王祥
许振午
冯亚彬
栾振祥
张存君
李建德
管琪

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