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国家标准《多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 国家硅材料深加工产品质量监督检验中心东海县产品质量监督检验所江苏中腾石英材料科技有限公司中材高新江苏硅材料有限公司中国电子技术标准化研究院

主要起草人 薄雷明程尚栩栾振祥张存君王祥许振午李建德管琪冯亚彬

目录

标准状态

当前标准

GB/T 32652-2016 现行

多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料

基础信息

标准号
GB/T 32652-2016
发布日期
2016-04-25
实施日期
2016-11-01
标准类别
产品
中国标准分类号
L90
国际标准分类号
31.030
31 电子学
31.030 电子技术专用材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

薄雷明
程尚栩
王祥
许振午
冯亚彬
栾振祥
张存君
李建德
管琪

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