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行业标准《正压悬浮区熔单晶硅炉》,主管部门为工业和信息化部

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标准状态

基础信息

标准号
SJ/T 11853-2022
发布日期
2022-10-20
实施日期
2023-01-01
中国标准分类号
L 97
国际标准分类号
31.22
31 电子学
主管部门
工业和信息化部
行业分类

备案信息

备案号:94255-2024。

备案公告: 2024年第5号

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