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国家标准计划《硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准化管理委员会。 拟实施日期:发布后6个月正式实施。

主要起草单位 南京国盛电子有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司中电晶华(天津)半导体材料有限公司有研半导体材料有限公司河北普兴电子科技股份有限公司浙江金瑞泓科技股份有限公司瑟米莱伯贸易(上海)有限公司无锡华润上华科技有限公司义乌力迈新材料有限公司

主要起草人 骆红潘文宾杨素心赵扬赵而敬张佳磊李慎重黄黎严琴黄宇程皮坤林

目录

项目进度

修订了以下标准

GB/T 14146-2009 (全部代替)

硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
当前标准计划

20181807-T-469 已发布

硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法

基础信息

计划号
20181807-T-469
制修订
修订
项目周期
24个月
下达日期
2018-10-15
标准类别
方法
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
77.040
77 冶金
77.040 金属材料试验
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

骆红
潘文宾
赵而敬
张佳磊
严琴
黄宇程
杨素心
赵扬
李慎重
黄黎
皮坤林

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