国家标准《集成电路用高纯硅靶材》 由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 宁波江丰电子材料股份有限公司 、上海同创普润新材料股份有限公司 、福建阿石创新材料股份有限公司 、有色金属技术经济研究院有限责任公司 、合肥欧莱高新材料有限公司 、绍兴市质量技术监督检测院 、广州市尤特新材料有限公司 。

主要起草人 姚力军 、周友平 、廖培君 、钟伟攀 、慕二龙 、苏百樱 、汪焱斌 、李素青 、陈少辉 、陈勇军 、干科军 、黄旭东 、余锡孟 、周志宏 。