行业标准《半导体制造设备人机界面规范》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。

主要起草单位 北京北方华创微电子装备有限公司 、工业和信息化部电子工业标准化研究院 、北方华创科技集团股份有限公司等 。

主要起草人 付金生 、冯亚彬 、程朝阳等 。

备案号：80909-2021。

备案公告： 2021年第3号 。

适用于半导体制造设备