国家标准计划《半导体制造设备射频电源输出功率测量方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司 、北京航空航天大学 、清华大学 、大连理工大学 、西南交通大学 、西安交通大学 、北京交通大学 。