国家标准计划《精细陶瓷（先进陶瓷，先进技术陶瓷） 半导体制造设备中陶瓷元件的等离子体电阻试验方法》由 TC194（全国工业陶瓷标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国建筑材料联合会。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 南通三责精密陶瓷有限公司 、山东工业陶瓷研究设计有限公司 、中材高新材料股份有限公司 、中国科学院上海硅酸盐研究所 、广东精瓷新材料有限公司 、晋江铂力芯科技有限公司 、季华实验室 、无锡诚承电子科技有限公司 、中国南方电网有限责任公司超高压输电公司电力科研院 、淮南联合大学 、国检测试控股集团淄博有限公司 、湖南省新化县鑫星电子陶瓷有限责任公司 、娄底市安地亚斯电子陶瓷有限公司 、潮州市潮安区乐陶家瓷业有限公司 。

主要起草人 闫永杰 、齐学礼 、王增辉 、蒋丹宇 、赵世凯 、万德田 、姜立平 、王新刚 、宋可 、唐倩 、陈闻杰 、郭可升 、严回 、王振 、曹建平 、康丁华 、刘银 、张萌 、方明江 、谢凯荣 、陈欣环 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 21859:2019。

采标中文名称:精细陶瓷（先进陶瓷，先进技术陶瓷） 半导体制造设备中陶瓷元件的等离子体电阻试验方法。