行业标准 - 全国标准信息公共服务平台

行业标准《多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定气相色谱法》，主管部门为工业和信息化部。

目录

标准状态

基础信息

标准号: YS/T 1290-2018
发布日期: 2018-10-22
实施日期: 2019-04-01

中国标准分类号

H17

国际标准分类号

77.040

77 冶金

77.040 金属材料试验

主管部门

工业和信息化部

行业分类

无

备案信息

备案号：65844-2019。

备案公告： 2019年第1号。

相近标准(计划)

DB15/T 1241-2017 硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定气相色谱法

DB53/T 747-2016 多晶硅生产回收氢气中氯化氢含量的测定气相色谱法

YS/T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定气相色谱法

YS/T 1434-2021 六氯乙硅烷组分含量的测定？气相色谱法

DB53/T 618-2014 气相色谱法测定多晶硅生产中氢化尾气组分含量

YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定气相色谱法

SY/T 7483-2020 用在线气相色谱法测定天然气中硫化合物含量

YS/T 1300-2019 氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定气相色谱质谱联用法

DB53/T 500-2013 多晶硅用三氯氢硅组分含量测定气相色谱法

版权所有侵权必究
主管：国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会
主办：国家市场监督管理总局国家标准技术审评中心
技术支持：北京中标赛宇科技有限公司
支持电话：010-82261036
备案号：京ICP备18022388号-1