行业标准《氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定 气相色谱质谱联用法》，主管部门为工业和信息化部。
备案号：72257-2020。
备案公告： 2020年第4号 。
本标准适用于氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷含量的测定，3种含碳化合物的测定范围均为0.1 mg/kg～1000 mg/kg。
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