行业标准《硅片包装》由全国有色金属标准化技术委员会归口上报,主管部门为工业和信息化部。
主要起草单位 杭州海纳半导体有限公司 、有研新材料股份有限公司 、南京国盛电子有限公司等 。
主要起草人 王飞尧 、孙燕 、马林宝等 。
备案号:50405-2015。
备案公告: 2015年第7号 。
本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片(简称硅研磨片)包装和太阳能电池用硅片包装,使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。