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行业标准《硅片边缘轮廓检验方法》，主管部门为中国有色金属工业总公司。

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标准状态

基础信息

标准号: YS/T 26-1992
发布日期: 1992-03-09
实施日期: 1993-01-01

主管部门: 中国有色金属工业总公司
行业分类: 无

备案信息

备案号：1849-1992。

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