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硅片边缘轮廓检验方法

行业标准-YS 有色金属 推荐性 现行

行业标准《硅片边缘轮廓检验方法》，主管部门为工业和信息化部。

目录

标准状态

  1. 发布
  2. 实施
  3. 废止

基础信息

标准号
YS/T 26-2016
发布日期
2016-07-11
实施日期
2017-01-01
全部代替标准
YS/T 26-1992
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
77.040
77 冶金
77.040 金属材料试验
主管部门
工业和信息化部
行业分类
无

备案信息

备案号：55808-2016。

备案公告： 2016年第11号 。

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